低溫蒸餾技術是目前國際上廣泛應用的主流技術之一，控制廢水的最高蒸發溫度不高于30℃、廢水回收率最高可達95%。

濃縮電鍍廢液（金、銀、銅、鎳等）、陽極處理磷酸廢液、乳化型切削液廢水、污泥濃縮脫水、研磨廢液、涂料廢液、氟酸處理廢水、硫酸銨廢液、含硼廢液等進行高效濃縮，蒸餾出來的潔凈水可重新回到生產線上繼續使用或排放。

對于某些含鹽工業廢水，如電鍍行業、醫藥農藥行業、金屬加工行業等，蒸留后的濃縮液具有回收價值。